导读：**GEX是一般排气（General Exhaust）**。在半导体制造厂中，依照系统废气排放可分为：一般排气（GEX）、酸性排气（SEX）、碱性排气（AEX）和有机排气（VEX）。以下是关于GEX的详细介绍：### 一、定义与特点* **...
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**GEX是一般排气（General Exhaust）**。
在半导体制造厂中，依照系统废气排放可分为：一般排气（GEX）、酸性排气（SEX）、碱性排气（AEX）和有机排气（VEX）。
以下是关于GEX的详细介绍：
### 一、定义与特点* **定义**：
一般排气（GEX）系统也称为热排气系统，主要用于抽取生产过程中设备局部产生的大量热或含尘无害气体。
* **特点**：
这些气体直接来自洁净室内，且含尘排放浓度很低，因此在总风管处检测的结果仍为洁净级别，属于室温范围。
### 二、处理方式* 由于GEX系统抽取的气体为无害排放，因此可以直接排放至大气环境，不需做任何处理。
### 三、应用场景* GEX系统广泛应用于半导体制造厂中，以满足半导体制程对环境温湿度（（22±1）℃，（45±5）%）和洁净度的极高要求。
### 四、与其他排气系统的区别* 与酸性排气（SEX）和碱性排气（AEX）相比，GEX系统处理的气体为无害排放，而SEX和AEX系统则需要采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。
* 与有机排气（VEX）相比，GEX系统处理的气体不含有机成分，而VEX系统则需要采用直接焚烧、活性炭吸附或生物氧化等方法进行处理。
综上所述，GEX是半导体制造厂中一种重要的排气系统，具有独特的特点和处理方式。
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